德國(guó)PI六腳架Physik Instrumente傳感器介紹

六腳架在緊湊的包裝中提供六個(gè)自由度的運(yùn)動(dòng)。PI六腳架與測(cè)量傳感器，軟件和運(yùn)動(dòng)控制器相結(jié)合，使復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)曲線易于控制，可滿足工業(yè)要求?？梢云ヅ潋?qū)動(dòng)器類(lèi)型，以滿足各個(gè)應(yīng)用程序的條件。

標(biāo)準(zhǔn)六足動(dòng)物的的產(chǎn)品范圍包括用于射線線實(shí)驗(yàn)中的樣品定位的微型版本，用于光纖對(duì)準(zhǔn)的分辨率動(dòng)態(tài)定位器，以及用于工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程的設(shè)備，在這些設(shè)備中六足動(dòng)物以亞微米精度定位負(fù)載。

運(yùn)動(dòng)六腳架提供了更多的動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，并且設(shè)計(jì)成可以精度地遵循預(yù)定義的軌跡，例如在相機(jī)測(cè)試臺(tái)上。

六模擬工具
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)的工作空間限制會(huì)根據(jù)當(dāng)前位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)），樞軸點(diǎn)的當(dāng)前坐標(biāo)以及所選坐標(biāo)系而變化。

六腳架負(fù)載的限值也隨許多因素而變化：

六腳架的方向
質(zhì)心的負(fù)載和位置
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的位置（平移和旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)）以及
作用在六腳架運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的力和扭矩。

PI六腳架仿真工具可以并以圖形方式表示所有這些影響因素。因此，可以在設(shè)置應(yīng)用程序之前識(shí)別任何機(jī)械問(wèn)題。

PI是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的供應(yīng)商。
PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)
在過(guò)去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機(jī)始終保持不變，多年來(lái)一直是精密定位技術(shù)市場(chǎng)。

德國(guó)Physik Instrumente (PI)系列介紹：

1. 德國(guó)PI XY位移平臺(tái)

精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器。通過(guò)使用質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有穩(wěn)定性的可重復(fù)，無(wú)漂移的定位

用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過(guò)程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動(dòng)提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過(guò)程和圖像識(shí)別，例如用于生物識(shí)別或文檔存檔。

型號(hào)介紹：

緊湊型XY壓電位移臺(tái)

德國(guó)PI XY位移平臺(tái)P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

德國(guó)PI XY位移平臺(tái)P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺(tái)：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺(tái)

德國(guó)PI XY位移平臺(tái)P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺(tái)：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)

P-733.2 XY壓電納米定位器：精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)的壓電掃描儀，用于生物識(shí)別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInanoXY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInanoCap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInanoTrak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡

2.德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考。可以實(shí)時(shí)地（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

型號(hào)介紹：

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：精度XYZ光圈掃描儀

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺(tái)：精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測(cè)量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

德國(guó)PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)

德國(guó)PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于分辨率顯微鏡

德國(guó)PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于動(dòng)態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

德國(guó)PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

德國(guó)PI P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

3.德國(guó)PI 線性壓電撓性位移臺(tái)

PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過(guò)程，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺(tái)可用于大1.5 mm的行程。

型號(hào)介紹：

壓電撓性線性平臺(tái)

德國(guó)PI P-630動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

德國(guó)PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺(tái)：動(dòng)態(tài)穩(wěn)定

德國(guó)PI P-752高精度納米定位臺(tái)：動(dòng)態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有其德國(guó)PI的引導(dǎo)

德國(guó)PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計(jì)量功能的負(fù)載壓電驅(qū)動(dòng)納米定位系統(tǒng)

德國(guó)PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價(jià)，緊湊的線性定位系統(tǒng)

德國(guó)PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

德國(guó)PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

德國(guó)PI壓電撓性垂直平臺(tái)

德國(guó)PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

德國(guó)PI S-303壓電移相器：高動(dòng)態(tài)，納米精密壓電移相器

德國(guó)PI P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測(cè)量和通光孔徑

德國(guó)PI P-612.Z壓電Z舞臺(tái)：帶孔的緊湊型納米定位器

德國(guó)PI P-611.Z壓電Z舞臺(tái)：緊湊型納米定位器

特色

德國(guó)PI PI P-725KHDS

德國(guó)PI P-725KHDSPIFOC高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

德國(guó)PI 4.PI 微型六足動(dòng)物

4，德國(guó)PI 微型六足動(dòng)物

德國(guó)PI Q-Motion壓電位移臺(tái)內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動(dòng)設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺(tái)。

使用的運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個(gè)軸上運(yùn)動(dòng)的重要性。的平行運(yùn)動(dòng)六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對(duì)較大的線性運(yùn)動(dòng)時(shí)，好采用薄型設(shè)計(jì)。

好使用采用PI的利PICMA或PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

德國(guó)PI 微型六足動(dòng)物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，精度

德國(guó)PI 微型六足動(dòng)物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對(duì)準(zhǔn)的選擇

德國(guó)PI H-811.S2 6軸運(yùn)動(dòng)六腳架：快速而緊湊的動(dòng)態(tài)應(yīng)用

德國(guó)PI H-810 6軸微型六腳架：小空間內(nèi)的高精度

德國(guó)PI P-911KNMV高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場(chǎng)中也能進(jìn)行精度定位

德國(guó)PI 5.PI 微型線性平臺(tái)

5，德國(guó)PI 微型線性平臺(tái)

微型階段對(duì)于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion，PIline和PiezoWalk之類(lèi)的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動(dòng)原理，因此可實(shí)現(xiàn)湊的平臺(tái)。

型號(hào)介紹：

德國(guó)PI帶有Q-Motion，PILine和PiezoWalk驅(qū)動(dòng)器的微型平臺(tái)

德國(guó)PI 微型線性平臺(tái)U-523PILine線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)

德國(guó)PI 微型線性平臺(tái)Q-521 Q?Motion微型線性平臺(tái)：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的小線性平臺(tái)

德國(guó)PI PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺(tái)：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

德國(guó)PI U-521PILine線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)

德國(guó)PI Q-545 Q Motion精密線性平臺(tái)：壓電馬達(dá)帶來(lái)的高力和小設(shè)計(jì)，帶有PIMagVC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流電機(jī)的微型平臺(tái)

德國(guó)PI M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺(tái)：XY（Z）組合，具有各種驅(qū)動(dòng)器和行程范圍

德國(guó)PI L-306緊湊型精密Z工作臺(tái)：緊湊設(shè)計(jì)，多軸組合

德國(guó)PI L-505緊湊型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德國(guó)PI V-408PIMag®線性平臺(tái)：便宜，帶直線電機(jī)

德國(guó)PI V-508PIMag®精密線性平臺(tái)：多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求

德國(guó)PI L-402微型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

德國(guó)PI A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承：，無(wú)塵室兼容，可

德國(guó)PI V-522•V-524•V-528PIMag線性平臺(tái)：帶直接位置測(cè)量的音圈直接驅(qū)動(dòng)

德國(guó)PI M-122.2DD1微翻譯平臺(tái)：具有直接位置測(cè)量功能的緊湊型線性平臺(tái)

德國(guó)PI M-105微翻譯平臺(tái)：精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選件，XY（Z）組合

德國(guó)PI MTS-65微型線性平臺(tái)：工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

德國(guó)PI L-406緊湊型線性平臺(tái)：對(duì)于10公斤的負(fù)載

6.德國(guó)PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使尺寸特別緊湊。

顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過(guò)。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以地定位濾光片，并具有的可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可以安裝在沒(méi)有適配器的線性平臺(tái)上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

德國(guó)PI 帶有Q-Motion和PILine驅(qū)動(dòng)器的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德國(guó)PI U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái) ，具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，快速PILine®直接驅(qū)動(dòng)和中央開(kāi)口

德國(guó)PI U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái)

德國(guó)PI Q-632 Q Motion®旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺(tái)直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流（BLDC）電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德國(guó)PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：扭矩的扁平設(shè)計(jì)，大承重2 kg

德國(guó)PI RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：確定位

德國(guó)PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)V-610緊湊型PIMag旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊，適用于M-110的多軸組合

德國(guó)PI DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：大光圈

德國(guó)PI DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)

7.德國(guó)PI 空氣軸承和位移臺(tái)

空氣軸承臺(tái)用于需要無(wú)振動(dòng)運(yùn)動(dòng)，速度必須高度恒定且要求角度重復(fù)性的場(chǎng)合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和間隙效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動(dòng)化用于OEM，工業(yè)和研究市場(chǎng)。

型號(hào)介紹：

帶空氣軸承的線性平臺(tái)

德國(guó)PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-131 PIglide VC音圈線性平臺(tái)，帶空氣軸承：微型納米定位系統(tǒng)

德國(guó)PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-110 PIglide LC線性平臺(tái)，帶空氣軸承：廉價(jià)的納米定位臺(tái)

德國(guó)PI 空氣軸承和位移臺(tái)A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承：，無(wú)塵室兼容，可

德國(guó)PI  A-123 PIglide AT3線性平臺(tái)，帶空氣軸承：性能納米定位臺(tái)

德國(guó)PI A-121 PIglide AT1線性平臺(tái)，帶空氣軸承：性能小尺寸納米定位臺(tái)

帶空氣軸承的XY位移臺(tái)

德國(guó)PI A-351帶直線電機(jī)的MGS龍門(mén)系統(tǒng)：堅(jiān)固的緊湊型設(shè)計(jì)，帶循環(huán)滾珠軸承導(dǎo)軌，可實(shí)現(xiàn)負(fù)載能力。

德國(guó)PI A-341 PIglide HGS混合龍門(mén)系統(tǒng)：帶有空氣軸承和循環(huán)球軸承導(dǎo)軌的混合導(dǎo)軌設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高精度，薄型化。

德國(guó)PI A-322 PIglide HS平面掃描儀，帶空氣軸承：XY定位系統(tǒng)，分辨率為1 nm

德國(guó)PI  A-311 PIglide IS平面掃描儀，帶空氣軸承：，緊湊型XY納米定位系統(tǒng)

空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)

德國(guó)PI A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：無(wú)摩擦，電動(dòng)

德國(guó)PI A-62x PIglide RM旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承：無(wú)摩擦，是分度，定位，掃描，測(cè)量技術(shù)的選擇

德國(guó)PI PIglide運(yùn)動(dòng)控制器

德國(guó)PI A-81x PIglide運(yùn)動(dòng)控制器：用于1、2或4個(gè)軸

德國(guó)PI A-60x PIglide RT旋轉(zhuǎn)空氣軸承模塊：無(wú)摩擦，非電動(dòng)

德國(guó)PI A-10x PIglide RB線性空氣軸承模塊：無(wú)摩擦，非常適合定位，掃描和計(jì)量

德國(guó)PI A-65x PIglide HB：半球形空氣軸承：無(wú)摩擦，是三軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的選擇

PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)不僅針對(duì)線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶的應(yīng)用，或提供用于運(yùn)動(dòng)和定位的成品子系統(tǒng)。

該控件是重要的系統(tǒng)組件，也由PI提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，還為應(yīng)用程序環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)無(wú)論是標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品還是開(kāi)發(fā)產(chǎn)品，無(wú)論是OEM驅(qū)動(dòng)器還是集成系統(tǒng)，目標(biāo)始終是為每種可能的應(yīng)用提供解決方案。

PI（Physik Instrumente）應(yīng)用領(lǐng)域：
現(xiàn)在，在許多應(yīng)用領(lǐng)域中必須達(dá)到定位精度。半導(dǎo)體制造，顯微鏡，表面測(cè)量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學(xué)工程和自動(dòng)化技術(shù)通常需要具有納米分辨率和可重復(fù)性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時(shí)間短，真空兼容的設(shè)計(jì)和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

六腳架支持工業(yè)機(jī)器人
由于在生產(chǎn)和質(zhì)量流程中對(duì)多軸機(jī)器人以及精密機(jī)器人的需求正在增長(zhǎng)，因此行業(yè)正在尋找新型的機(jī)器人技術(shù)。PI為這些任務(wù)提供了并聯(lián)運(yùn)動(dòng)六足架。六軸機(jī)器人可以在任何空間方向上高精度地移動(dòng)重量從幾公斤到幾噸的工具，工件甚至復(fù)雜的組件，而與安裝方向無(wú)關(guān)。由于六腳架可以通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線接口直接與PLC或CNC控制器通信，因此用戶可以輕松地將定位系統(tǒng)集成到自動(dòng)化環(huán)境中。

德國(guó)PI六腳架Physik Instrumente傳感器介紹 自20世紀(jì)初以來(lái)，汽車(chē)工業(yè)一直在利用并行運(yùn)動(dòng)學(xué)來(lái)測(cè)試汽車(chē)輪胎。系統(tǒng)供應(yīng)商今天也使用此技術(shù)。它們將六腳架集成到坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中以校準(zhǔn)前照燈，從而滿足對(duì)精度的要求。六足機(jī)器人也可以與工業(yè)機(jī)器人一起在生產(chǎn)線上使用，以補(bǔ)償機(jī)械臂的誤差。